-
表面粗糙度怎么測(cè)？Ra、Rz、Rq 參數(shù)與四類方法對(duì)比
2026-9-20
12
一、測(cè)量需求背景表面形貌測(cè)量通常關(guān)注三類指標(biāo)：臺(tái)階高度、粗糙度與三維形狀。其中粗糙度描述表面微觀起伏的統(tǒng)計(jì)特征，不直接對(duì)應(yīng)某一具體結(jié)構(gòu)尺寸，卻通過(guò)摩擦磨損、密封配合、疲勞壽命、光學(xué)散射、膜層附著等過(guò)程影響產(chǎn)品表現(xiàn)。在半導(dǎo)體與精密光學(xué)制造中，粗糙度更多出現(xiàn)在工序中間而非終檢環(huán)節(jié)。化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）后的表面質(zhì)量決定外延生長(zhǎng)質(zhì)量與柵氧界面狀態(tài)；鍍膜前的基底粗糙度會(huì)影響膜層附著力，同時(shí)干擾后續(xù)的膜厚光學(xué)測(cè)量，表面過(guò)粗會(huì)使反射信號(hào)明顯減弱。因此粗糙度測(cè)量的核心問(wèn)題不是"能不能測(cè)"，...
-
Filmetrics F40 光學(xué)膜厚儀在醫(yī)用球囊上的應(yīng)用
2026-9-18
20
一、背景與問(wèn)題醫(yī)用球囊是一種由導(dǎo)管引入人體腔道或血管、通過(guò)充氣或充液實(shí)現(xiàn)擴(kuò)張、支撐或藥物釋放的醫(yī)療器械，廣泛應(yīng)用于心血管、泌尿、消化等領(lǐng)域的疾病治療，主要用于以下幾種功能。·擴(kuò)張狹窄：這是最基本也是最重要的功能，通過(guò)物理擴(kuò)張力撐開(kāi)狹窄的管腔（血管、消化道、氣道、泌尿道等），恢復(fù)管腔的通暢性。·解除梗阻：通過(guò)擴(kuò)張狹窄的通道，如前列腺增生，解除管腔的梗阻，恢復(fù)血液、尿液、食物、膽汁、氣體等的正常流動(dòng)。·輸送與錨定器械：作為功能性植入物的載體，將支架或瓣膜等植入性醫(yī)療器械精確送到目...
-
從開(kāi)爾文電橋到R系列，KLA四探針薄膜方阻測(cè)試儀的百年傳承與革新
2026-9-17
21
故事的起點(diǎn)，一段跨越160年的技術(shù)史詩(shī)1861年，一位名叫威廉·湯姆森（WilliamThomson）的英國(guó)物理學(xué)家，也就是后來(lái)被封為開(kāi)爾文勛爵的那位。發(fā)明了一種測(cè)量極低電阻的方法。他用四根獨(dú)立的引線來(lái)消除測(cè)試引線電阻和接觸電阻帶來(lái)的誤差，這就是后來(lái)被稱為開(kāi)爾文四線檢測(cè)或四端法的測(cè)量技術(shù)。這項(xiàng)發(fā)明在當(dāng)時(shí)或許并未引起太多波瀾。然而，湯姆森不會(huì)想到，他這套思路會(huì)在一個(gè)多世紀(jì)后，成為半導(dǎo)體工業(yè)中最核心的工藝監(jiān)控手段之一。1920年，Schlunberger將四探針原理第一次付諸實(shí)際...
-
Filmetrics F20 光學(xué)膜厚儀的誕生與演變
2026-9-17
22
在薄膜測(cè)量領(lǐng)域，F(xiàn)ilmetricsF20膜厚儀是一款很有代表性的產(chǎn)品。從1995年問(wèn)世到現(xiàn)在，它賣了將近三十年，全球累計(jì)出貨量早已上萬(wàn)臺(tái)，至今依然是很多實(shí)驗(yàn)室和產(chǎn)線上的常用設(shè)備。這篇文章想聊聊F20膜厚儀這款機(jī)器是怎么來(lái)的、經(jīng)歷了哪些重要變化，以及它和中國(guó)的故事。一、F20膜厚儀的誕生1995年之前，市面上能做薄膜厚度測(cè)量的儀器價(jià)格很高，一臺(tái)商用膜厚儀通常要五萬(wàn)美元甚至更多。操作這些設(shè)備也十分繁雜，需要經(jīng)過(guò)專業(yè)培訓(xùn)，測(cè)一次樣品往往要花幾分鐘甚至幾小時(shí)。對(duì)于很多中小型企業(yè)和高...
-
3D光學(xué)輪廓儀的工作結(jié)構(gòu)與檢測(cè)原理是什么？
2026-9-16
24
3D光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式精密表面檢測(cè)儀器，主要用于獲取工件表面的三維微觀形貌與幾何參數(shù)。在精密加工、光學(xué)器件、半導(dǎo)體、模具制造等行業(yè)，工件表面的粗糙度、平面度、微觀紋路、凹凸缺陷等指標(biāo)，直接影響產(chǎn)品的使用性能與適配精度。傳統(tǒng)接觸式檢測(cè)方式容易對(duì)薄壁、軟質(zhì)工件造成劃痕損傷，檢測(cè)范圍有限，而3D光學(xué)輪廓儀依托光學(xué)成像與干涉測(cè)量技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)無(wú)損、大面積的表面形貌采集，適配各類精密工件的檢測(cè)需求。該設(shè)備通過(guò)光學(xué)鏡頭與精密掃描組件采集樣品表面信息，結(jié)合系統(tǒng)算法重構(gòu)三維立體圖像，可量...
-
光學(xué)表面輪廓儀：從微觀形貌到宏觀幾何的精密解析
2026-9-14
51
光學(xué)表面輪廓儀是一種集光、機(jī)、電于一體的高精度檢測(cè)設(shè)備，主要用于分析物體表面的微觀與宏觀幾何形貌。它利用激光位移傳感器或白光干涉等光學(xué)原理，在不接觸被測(cè)物體表面的情況下，快速獲取其三維輪廓數(shù)據(jù)。這種非接觸式的測(cè)量方式，不僅避免了傳統(tǒng)觸針式儀器可能劃傷樣品的風(fēng)險(xiǎn)，還能有效應(yīng)對(duì)軟質(zhì)材料、易變形表面以及復(fù)雜曲面的檢測(cè)需求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密加工、航空航天及科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。在實(shí)際應(yīng)用中，光學(xué)表面輪廓儀能夠?qū)Υ植诙取⑴_(tái)階高度、薄膜厚度、波紋度等多種參數(shù)進(jìn)行量化分析。設(shè)備通常配備高分...
